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磁控溅射阴极系列产品

编号：

名称： 磁控溅射阴极系列产品

领域：

成果形式：

投资额：万

案例数：

技术阶段： 概念阶段

合作方式：

方案详述

溅射阴极SC：

1、适用于常规放电；

2、功率密度5-20W/cm2；

3、利用率>40%；

4、有效沉积区膜厚误差<5%；

溅射阴极SC-H：

1、适用于大功率放电；

2、功率密度达200W/cm2以上；

3、沉积速率提高10-20倍；

4、离化率>70%；

溅射阴极SC-Hi：

1、适用于HiPIMS放电；

2、离化率近100% ；

3、沉积速率提高4倍；

4、放电稳定性高；

技术优势

联系方式

客服

075586060912

service@xincailiao.com

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